特許
J-GLOBAL ID：200903004029730947
表面処理用部材及び表面処理装置並びに表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212125
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055831
出願日： 1994年08月12日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】表面処理用の流体の使用量を増加させることなく、被処理材の裏面に付着した汚染物質による領域処理材の表面へ汚染を確実に抑制することができる表面処理用部材を提供する。【構成】被処理材20を表面処理するために用いられる表面処理用部材は1、(イ)被処理材20の端面で被処理材20を支持する支持部材10と、(ロ)縁部16で該支持部材10と密着し、該支持部材10及び被処理材20と共に密閉された空間21を形成するキャップ部材13から成る。
請求項（抜粋）：
(イ)被処理材の端面で被処理材を支持する支持部材と、(ロ)縁部で該支持部材と密着し、該支持部材及び被処理材と共に密閉された空間を形成するキャップ部材、から成ることを特徴とする、被処理材を表面処理するために用いられる表面処理用部材。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/304 351
, B08B 3/04
