特許

J-GLOBAL ID：200903004038035917

モータ機構及び検査装置

発明者： 伊藤 隆紀 ,  吉田 篤司
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136736
公開番号（公開出願番号）：特開平9-322591
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 配設スペースを小さくしてモータ機構の小型化を図ることができ、しかも高い位置精度と速い駆動速度とを確保する。【解決手段】 検査テーブル等の駆動対象物を駆動させるための駆動軸9は、粗動モータ23の回転軸23aに連結固定されている。粗動モータ23が一体回転可能に収容されたハウジング20は、粗動モータ23より分解能の高い微動モータ25の回転軸25aが入力軸として接続された減速機24の出力軸26に対し、一体回転可能に固定されている。電磁クラッチ27が切断されて駆動軸9とハウジング20との切断状態で粗動モータ23が駆動されることにより、駆動軸9は粗動モータ23の分解能に応じた駆動速度で駆動される。また、電磁クラッチ27が接続されて駆動軸9とハウジング20との接続状態で微動モータ25が駆動されることにより、駆動軸9は微動モータ25の分解能に応じた駆動速度で駆動される。

請求項（抜粋）：

駆動対象物を駆動するための駆動軸に回転軸を連結させた第1モータと、前記第1モータと分解能が異なるとともに、該第1モータに一体回転可能に出力軸を連結させた第2モータと、前記第1モータとその回転軸とを一体回転可能な接続状態と、相対回転可能な切断状態とに切り換える切換手段とを備えたことを特徴とするモータ機構。

IPC (2件)：

H02P 7/67 ,  G05D 3/12 305

FI (3件)：

H02P 7/67 D ,  H02P 7/67 A ,  G05D 3/12 305 E