圧電振動式角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-358019
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197253
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【目的】圧電振動子を用いた圧電振動式角速度センサにおいて、圧電振動子の振動姿態の機械的アンバランスを補正することを目的とする。【構成】圧電振動素子の脚部Y軸に平行な面に形成された励振電極を第1の励振電極と第2の励振電極とに分割し、圧電振動子の機械的アンバランスを補正しながら、第1の励振電極と第2の励振電極を励振する圧電振動子の励振電極構造にすることにより目的を達成する。

請求項（抜粋）：

U字型圧電振動子の脚部Y軸に平行な面に形成された励振電極と、該励振電極の同一脚部、または他方の脚部に形成された検出電極を備え、前記励振電極に交流電圧を印加することによって該圧電振動子を振動させながら、該圧電振動子の検出電極に生ずる電荷信号に基づいて前記脚部の伸縮方向の回りに作用する角速度を検出する圧電振動式角速度センサにおいて、X軸に平行な振動ができる振動姿態に補正するために、該圧電振動子の該励振電極を第1の励振電極と第2の励振電極に分割し、それぞれに独立した電圧を印加することを特徴とした圧電振動式角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-019714
特開平4-102013
特開昭62-019714

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