光学式エンコーダ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-209733
公開番号（公開出願番号）：特開2006-030006
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】1次元方向に相対変位する2つの物体の変位を検出する光学式エンコーダにおいて、SN比を改善し、耐ノイズ性を向上させる。【解決手段】光源13からの照明光は第2格子14を透過し、メインスケール11を照射する。第1格子12で反射された照明光I1と、第1格子12の透過部12bを透過し、メインスケール11の裏面側に形成した反射手段18により、メインスケール11の表面側に反射され、再び第1格子12を透過した照明光I2が第3格子15へ入射する。【選択図】図1

請求項１：

相対変位する一方の部材に固定される第1格子が形成されたメインスケールと、相対変位する他方の部材に固定される照明光を射出する光源と、前記光源からの照明光を複数光束に分割して前記メインスケールを照明するための第2格子及び前記第2格子と前記第1格子によって制限された照明光を更に制限するための前記第2格子と独立した位相が互いに異なる複数の第3格子が形成されたインデックススケールと、前記第1乃至第3格子によって制限された照明光をそれぞれ検出する複数の受光素子と、を備え、前記受光素子の検出信号から前記両部材の相対変位を検出する光学式エンコーダにおいて、前記メインスケールは透明材料からなり、前記メインスケールの表面には、透過部と反射部からなる周期的パターンを有する前記第1格子が形成され、前記メインスケールの裏面には反射手段が形成されたことを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (1件)：

G01D 5/347

FI (1件)：

G01D5/34 D

Fターム (8件)：

2F103BA10 , 2F103CA01 , 2F103CA03 , 2F103DA01 , 2F103EA01 , 2F103EA18 , 2F103EA19 , 2F103EB32

引用特許：

出願人引用 (3件)

実公平7-888号公報
投影型エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-187464 出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-130761 出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ

審査官引用 (2件)

投影型エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-187464 出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-130761 出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ

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