固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291860
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151793
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】良好なスミア特性と、’白キズ’不良のない固体撮像装置を提供する。【構成】ポリシリコン電極11下層に形成したシリコン窒化膜10をフォトダイオード側にまで伸ばし、かつ同時にポリシリコン酸化膜12の膜厚を厚くすることと、CVD法による酸化膜13を薄膜化する構成とする。【効果】フォトダイオード中心領域の絶縁膜は厚くなり、エッチングダメージの影響で発生する’白キズ’不良は減少する。一方、フォトダイオード周辺領域では、シリコン窒化膜10が存在することより、絶縁膜の膜厚は薄くなり導波管効果で発生するスミア信号が減少する。

請求項（抜粋）：

半導体基板に形成された光電変換部と垂直シフトレジスタ部とを少なくとも有し、前記垂直シフトレジスタ部の駆動電極である導電性電極の下層のシリコン窒化膜を前記導電性電極よりも広くして光電変換部側に伸ばし、前記シリコン窒化膜の上層にアルミニウム遮光膜を形成した固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 D , H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-181171
特開平3-190272
特開平3-175675

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