特許
J-GLOBAL ID:200903004056286900
活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
後藤 幸久
, 壬生 優子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-039048
公開番号(公開出願番号):特開2007-220863
出願日: 2006年02月16日
公開日(公表日): 2007年08月30日
要約:
【課題】活性面に長期間貼付しても、切断片をピックアップさせる際には、容易にピックアップさせることができる活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートを提供する。【解決手段】活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートは、自然酸化膜が全面的に形成されていない状態の活性面に対して用いられるダイシング用粘着テープ又はシートであり、基材の少なくとも一方の面に放射線硬化性粘着剤層が形成された構成を有しており、且つ基材の少なくとも一方の面側の放射線硬化性粘着剤層が、重量平均分子量が50万以上であるアクリル系ポリマー(A)と、炭素-炭素二重結合を含有する基を有しているシアヌレート系化合物、および炭素-炭素二重結合を含有する基を有しているイソシアヌレート系化合物から選択された少なくとも一種の放射線重合性化合物(B)とを、アクリル系ポリマー(A):100重量部に対して、放射線重合性化合物(B)が5〜150重量部となる割合で含有していることを特徴とする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
自然酸化膜が全面的に形成されていない状態の活性面に対して用いられるダイシング用粘着テープ又はシートであって、基材の少なくとも一方の面に放射線硬化性粘着剤層が形成された構成を有しており、且つ基材の少なくとも一方の面側の放射線硬化性粘着剤層が、重量平均分子量が50万以上であるアクリル系ポリマー(A)と、炭素-炭素二重結合を含有する基を有しているシアヌレート系化合物、および炭素-炭素二重結合を含有する基を有しているイソシアヌレート系化合物から選択された少なくとも一種の放射線重合性化合物(B)とを、アクリル系ポリマー(A):100重量部に対して、放射線重合性化合物(B)が5〜150重量部となる割合で含有していることを特徴とする活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシート。
IPC (3件):
H01L 21/301
, C09J 7/02
, C09J 4/00
FI (3件):
H01L21/78 M
, C09J7/02 Z
, C09J4/00
Fターム (33件):
4J004AA01
, 4J004AA03
, 4J004AA05
, 4J004AA06
, 4J004AA08
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA15
, 4J004AA17
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004DB02
, 4J004EA05
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF031
, 4J040EH022
, 4J040GA01
, 4J040GA03
, 4J040GA05
, 4J040GA07
, 4J040GA17
, 4J040GA19
, 4J040GA20
, 4J040GA22
, 4J040GA25
, 4J040HC25
, 4J040JA09
, 4J040JB07
, 4J040JB09
, 4J040KA16
, 4J040LA01
, 4J040NA20
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
再剥離用粘着シート
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-261963
出願人:日東電工株式会社
審査官引用 (6件)
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