特許
J-GLOBAL ID：200903004056309021
真空紫外光ランプ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
衞藤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176082
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006623
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 真空紫外光ランプの長寿命化を図る。【解決手段】 真空紫外光ランプの容器1内に、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスを充填し、誘電体兼真空紫外光取出窓2で密閉する。電極4、4aはこの誘電体兼取出窓2を介して対向配置し、導線5を介して高周波高電圧電源6に接続する。本発明では、この誘電体や取出窓部材に、酸素を含まないフッ化物、例えばフッ化マグネシウム、フッ化リチウム、フッ化カルシウムなどを用い、光エネルギー照射を受けても、光出力減衰の原因となる酸素を容器内に放出しないようにしてある。これにより長時間光出力の減衰が抑制される。また容器内の希ガスを常時置換すると、酸素を含む石英やサファイヤを使用しても、発生した酸素が容器外に放出されるので、真空紫外光の減衰は実用上問題とならない。
請求項（抜粋）：
誘電体を介して対向させた電極により、希ガスを充填した容器内で放電させて真空紫外光を生成し、生成した真空紫外光を取出窓または誘電体を介して外部に取り出す真空紫外光ランプであって、希ガスがアルゴン、クリプトン及びキセノンからなる群から選ばれた少なくともひとつであり、かつ真空紫外光取出窓及び/または誘電体が酸素を含まないフッ化物であることを特徴とする真空紫外光ランプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 65/00 A
, H01J 65/04 A
