特許
J-GLOBAL ID：200903004057422972
アルミニウム基合金プリフォーム、アルミニウム基合金緻密体、これらの製造方法、およびスパッタリングターゲット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
植木 久一
, 菅河 忠志
, 二口 治
, 伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-073337
公開番号（公開出願番号）：特開2007-247006
出願日： 2006年03月16日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】スプレイフォーミング法によるアルミニウム基合金プリフォームの密度のバラツキを低減し、プリフォームを歩留まり良く製造する技術を提供する。【解決手段】本発明のアルミニウム基合金プリフォームは、相対密度の平均が50〜65%で、相対密度の最大値を示す部分と相対密度の最小値を示す部分の差が30%以下である。上記プリフォームの製造方法は、アルミニウム基合金を(液相温度+100°C)〜(液相温度+400°C)の範囲内で溶解し、アルミニウム基合金の溶湯を得る工程と、アルミニウム基合金の溶湯をガス/メタル比が4Nm3/kg以上で、対抗するガスアトマイズノズル中心軸のなす角度を2αとしたときαを1〜10°の条件でガスアトマイズし微細化する工程と、微細化したアルミニウム基合金をスプレイ距離が700〜1200mm、コレクター角度が20〜45°の条件でコレクターに堆積しプリフォームを得る工程とを包含する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
スプレイフォーミング法によって得られるアルミニウム基合金プリフォームであって、
相対密度の平均が50〜65%で、且つ、相対密度の最大値を示す部分と相対密度の最小値を示す部分の差が30%以下であることを特徴とするアルミニウム基合金プリフォーム。
IPC (6件)：
B22F 3/115
, C22C 21/00
, B22F 3/15
, B22D 23/00
, B22D 21/04
, C23C 14/34
B22F3/115
, C22C21/00 N
, B22F3/15 M
, B22D23/00 E
, B22D21/04 A
, C23C14/34 A
4K018AA15
, 4K018EA12
, 4K018KA29
, 4K029BA03
, 4K029DC03
, 4K029DC07
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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