特許
J-GLOBAL ID：200903004061999354
流量計及び質量流量制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
明石 昌毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111152
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 有毒で反応性を有するプロセス流体を使用する製造プロセスに使用される流量計(100)及び質量流量制御装置(101)の精度を改善する。【解決手段】 流量センサ(114)が流量を検出し、予め設定された温度及び圧力条件に基づき設定点が設定される。制御装置(122)により制御される弁駆動装置(124)が検出された流量及び設定点に基づく流量になるよう流量制御弁(126)を作動させる。制御装置(122)はキャリブレーションデータセットにアクセスし、検出された流量及び設定点に基づき流量制御弁により供給されるべき流体の量を決定する。データセットはプロセス流体と同様の特性を有するキャリブレーション流体を使用して流量制御装置の動作範囲全体に亘り生成される。流量制御装置はキャリブレーション流体を使用してキャリブレーションされ、データセットはデータベース(200)に記憶されている流体データを使用してキャリブレーションデータを変換することにより生成される。
請求項（抜粋）：
製造プロセスに使用され該製造プロセスに於いて使用される種々の流体の一つを制御する流量計であって、プロセス流体が製造プロセスに於いて種々の温度及び圧力条件にて使用され、プロセス流体は流量計により検出される流量に応答して制御される弁を経て流れ、プロセス流体は有毒であり又は反応性を有し又は高価であり又は廃棄が困難なものであり又はこれらの組合せの特徴を有する流量計にして、プロセス流体が使用されるプロセス位置へプロセス流体を導く通路内のプロセス流体の流量を検出する手段と、前記プロセス流体の検出された流量を示す出力信号を発生する処理装置であって、前記流量計により制御されるプロセス流体とは異なるキャリブレーション流体を使用して前記流量計の動作範囲全体に亘り前記流量計について蓄積されたキャリブレーションデータセットより求められたキャリブレーション曲線にアクセスし、前記検出された流量及び前記プロセスのオペレータにより外部より設定される設定点に基づき前記弁により供給されるべきプロセス流体の量を決定し、前記出力信号が前記プロセス流体の前記検出された流量を正確に示し、前記プロセス流体が前記流量計のキャリブレーションの際に使用される流体とは異なる場合にも前記プロセスの設定点要件に適合するよう前記プロセス流体が通過する前記弁が正確に制御されるよう、前記プロセス流体のための前記データセットにアクセスして前記流量計がそれにより発生される出力信号を調整することを可能にする手段を含む処理装置と、とを含んでいることを特徴とする流量計。
IPC (4件)：
G01F 1/00
, G01F 1/76
, G01F 15/02
, G05D 7/06
G01F 1/00 X
, G01F 1/76
, G01F 15/02
, G05D 7/06 Z
