特許
J-GLOBAL ID:200903004064505220
ディスク状記録媒体へのパターン形成方法およびパターン形成装置ならびにディスク状記録媒体
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-024023
公開番号(公開出願番号):特開2000-222725
出願日: 1999年02月01日
公開日(公表日): 2000年08月11日
要約:
【要約】【課題】 パターンメディア構造を採用するために、上記のような問題を解消することのできるディスク状記録媒体へのパターン形成方法およびパターン形成装置ならびにディスク状記録媒体を提供する。【解決手段】 ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成方法であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出し、この検出した中心を基準として前記パターンを形成することを特徴とするディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
請求項(抜粋):
ディスク基板上に、記録に有用なパターンを電子ビーム発射手段からの電子ビームで露光して形成するディスク状記録媒体へのパターン形成方法であって、電子ビーム発射手段からの電子ビームを用いて、前記ディスク基板の中心を検出し、この検出した中心を基準として前記パターンを形成することを特徴とするディスク状記録媒体へのパターン形成方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (10件):
5D006BB07
, 5D006DA03
, 5D006DA04
, 5D006EA02
, 5D006FA09
, 5D112AA01
, 5D112AA05
, 5D112AA24
, 5D112GA19
, 5D112GA27
引用特許:
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