特許

J-GLOBAL ID：200903004064572092

静電チャック

発明者： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社宮田技研
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-190873
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031919
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 静電チェックで吸着した半導体基板の温度を、高周波電界の影響を受けることなく操業中でもリアルタイムで連続測温できる新しい静電チャックの構造に関わる。【構成】 静電チャックの吸着面に穿孔した孔に光温度計の測温プローブを埋入してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

静電チャックの吸着面に穿孔した孔に光温度計の測温プローブを埋入してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00