特許
J-GLOBAL ID：200903004069444904
空間電荷中和装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353777
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174763
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 大電流イオンビ-ムを発生するイオン源に於いて正イオン同士のク-ロン斥力によるビ-ムの横方向への拡散を防ぐこと。【構成】 イオンビ-ムの一部を引き出し二次電子放出板に当て、二次電子を飛び出させ、これによってイオンビ-ムの正電荷を中和させ、イオンビ-ムの拡散を防ぐ。
請求項（抜粋）：
真空チャンバの中へガスを導入し放電によってプラズマに励起し、引出し電極系に電圧を印加する事により引出し電極系のイオン通し穴からイオンビ-ムを引き出すようにしたイオンビ-ム発生装置において、引出し電極系に主イオン通し穴の他に副イオン通し穴を穿孔し、副イオン通し穴の前方には二次電子放出板を斜めに取り付け副イオン通し穴から出たイオンが二次電子放出板に衝突して二次電子を発生するようにしてあり、ここで発生した二次電子が主イオン通し穴を通ったイオンビ-ムと混合されイオンの正電荷を中和するようにした事を特徴とする空間電荷中和装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H01J 37/317
, H01L 21/265
