特許

J-GLOBAL ID：200903004073038694

チャンバー装置

発明者： 塚本 究 ,  堀江 邦明 ,  金子 清二 ,  佐藤 等
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134009
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317296
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 比較的コンパクトな構成で蓋の開閉動作をスムーズに行うことができるようにしたチャンバー装置を提供する。【解決手段】 チャンバー本体10と、該チャンバー本体を気密にかつ開閉自在に覆う蓋14と、該蓋を前記チャンバー本体に対して昇降させる蓋昇降装置22と、前記蓋の一端側を前記チャンバー本体より持ち上げて前記蓋を片開きさせる片開き機構28を備え、前記蓋昇降装置は前記蓋をピン16,20結合を介して吊り持つ吊持機構18を有し、前記ピン結合の軸心が蓋の重心を通る鉛直線上に位置している。

請求項（抜粋）：

チャンバー本体と、該チャンバー本体を気密にかつ開閉自在に覆う蓋と、該蓋を前記チャンバー本体に対して昇降させる蓋昇降装置と、前記蓋の一端側を前記チャンバー本体より持ち上げて前記蓋を片開きさせる片開き機構を備え、前記蓋昇降装置は前記蓋をピン結合を介して吊り持つ吊持機構を有し、前記ピン結合の軸心が蓋の重心を通る鉛直線上に位置していることを特徴とするチャンバー装置。

IPC (2件)：

B01J 3/03 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

B01J 3/03 J ,  H01L 21/31 B

Fターム (3件)：

5F045BB10 ,  5F045EB02 ,  5F045EN01