特許
J-GLOBAL ID：200903004077418564
プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253721
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079350
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 ワークの載置台を処理炉の壁とほぼ同電位の接地電位に保持できるプラズマ処理装置を提供し、載置台と処理炉の壁との間の放電を防止して電力損失を低減し、処理の高速化を図る。【解決手段】 処理炉10の上部開口に蓋20を処理室Cを画成可能に取り付け、蓋20に高周波電源31に接続した上電極21を固設するとともに、処理炉10の下側に載置台11を昇降可能に支持して載置台11の下面に処理炉10外へ突出する連結棒13を固設し、連結棒13の端部を連結部材14によりアクチュエータに連結するとともに、連結部材14と処理炉10の外壁との間にベローズ15を気密的に介装し、ベローズ15および連結部材14を介して載置台11を処理炉10に電気的に接続して接地するとともに、載置台11の裏面と処理炉10の内底面との間に複数箇所で載置台11の昇降に伴い伸縮するベローズ51を介装し、これらベローズ51により載置台11と処理炉10とを電気的に導通した。
請求項（抜粋）：
炉内の処理室の一側に電極を設けて高周波電源に接続するとともに、炉内の処理室の他側にワーク載置用の載置台を前記電極に対する間隔を調節可能に対向して設け、前記載置台の裏面側に連結部材を設け、該連結部材をアクチュエータに連結するとともに前記連結部材と前記炉の壁面との間にベローズを介装して気密的に封止し、前記載置台を前記連結部材、ベローズおよび炉を介して電気的に接地したプラズマ処理装置において、前記載置台の裏面と前記炉の内壁面との間に導電部材を介設して電気的に導通したことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
H01L 21/205
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/31 C
, H01L 21/302 B
