特許

J-GLOBAL ID：200903004079925404

表面検査装置

発明者： 河村 努 ,  的場 有治 ,  風間 彰 ,  大重 貴彦
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297895
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178667
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】移動している鋼板表面にある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出することは困難であった。【解決手段】3組のリナアアレイセンサ10a〜10cから入力した鋼板4表面の偏光画像の疵候補領域内におけるエリプソパラメ-タと表面反射強度の正常部に対する大小を示す極性を信号処理部13で算出し、算出したエリプソパラメ-タと表面反射強度の極性の組合せによる疵特徴量から表面疵の種類を判定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面の幅方向全体にわたり偏光光束を入射し、受光部は被検査面からの反射光から異なる3つの偏光成分を抽出して画像信号に変換し、信号処理部はパラメ-タ演算部と特徴量演算部及び疵判定部とを有し、パラメ-タ演算部は上記画像信号からエリプソパラメ-タと表面反射強度を算出し、特徴量演算部は疵候補領域内におけるエリプソパラメ-タと表面反射強度の正常部に対する大小を示す極性を算出し、算出したエリプソパラメ-タと表面反射強度の極性の組合せによる疵特徴量を演算し、疵判定部は演算した疵特徴量から表面疵の種類を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01N 21/89 B ,  G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 J