特許
J-GLOBAL ID:200903004079990559
ストリップゲッターの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 順三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-114847
公開番号(公開出願番号):特開平5-314908
出願日: 1992年05月07日
公開日(公表日): 1993年11月26日
要約:
【要約】【目的】 基材とゲッター材との密着性に優れ、かつ基材からガスを放出することなく優れたガス吸着能力を発揮するストリップゲッターを安定して製造する技術を提供すること。【構成】 一対の圧着ロール1,2の上部から、ロール間隙の中央部にNi,Cu およびAlのうちいずれか一種以上の金属もしくは合金からなる厚さ10〜50μmの箔7を連続的に送給すると共に、この送給箔7と各ロール1,2との隙間にZr,V,Fe,Ni,Nb,Ti,Mn およびAlのうちいずれか一種以上からなる金属粉末もしくは合金粉末を連続的に供給し、ロール1,2にて加圧しながら圧着して積層材とし、この積層材をロール1,2の回転に合わせてストリップ状として下方に連続的に引抜く。
請求項(抜粋):
Ni,Cu およびAlのうちいずれか一種以上の金属もしくは合金からなる箔の少なくとも一方の面に、Zr,V,Fe,Ni,Nb,Ti,Mn およびAlのうちいずれか一種以上からなる金属粉末もしくは合金粉末を圧着し、その後、真空下にて焼成することを特徴とするストリップゲッターの製造方法。
IPC (4件):
H01J 9/39
, A47J 41/02 102
, B01J 20/02
, H01K 3/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特公昭45-017784
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特許第4977035号
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特公昭45-017784
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