特許
J-GLOBAL ID：200903004088242492
発熱抵抗体とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131945
公開番号（公開出願番号）：特開2001-322283
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】経時的に安定して確保できる高い抵抗率を有し抵抗の温度変化率が小さくキャビテーション耐性も良く且つ再現性良く製造できるインクジェットプリンタに好適な発熱抵抗体と、その製造方法を提供する。【解決手段】発熱抵抗体を、Ta、Si、O、Nの4元素から成る非金属的物質で形成する。この場合、SiとTaのモル比が0.35<Si/Ta<0.80、Oが25モル%〜45モル%、Nが5モル%〜25モル%の組成比の発熱抵抗体が、抵抗率が4mΩcm以上、X線回折分析のピーク角度が37.5°以下で抵抗の対温度変化率が0.05%/°C以下と小さく、且つ1億パルス印加耐久試験をクリアする。この抵抗体は成膜後のアニール処理により、所望の高抵抗率を経時的に安定して保持でき、成分元素としてHを導入したTa-Si-O-N-H系の5元素系発熱抵抗体とすることにより、高抵抗率を備えた発熱抵抗体を再現性良く製造可能となる。
請求項（抜粋）：
組成の成分元素に少なくともTaとSiとOとNとを含むことを特徴とする発熱抵抗体。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/05
, H01C 7/00
H01C 7/00 F
, H01C 7/00 G
, H01C 7/00 D
, B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
2C057AF51
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG46
, 2C057AG50
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP61
, 2C057AP90
, 2C057BA03
, 2C057BA13
, 5E033AA03
, 5E033AA05
, 5E033AA06
, 5E033BB02
, 5E033BD01
, 5E033BH01
