特許

J-GLOBAL ID：200903004093050720

複合材料膜、圧電アクチュエータ、およびインクジェットヘッドの製造方法、並びに圧電アクチュエータ

発明者： 安井 基博 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-227864
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088449
出願日： 2006年08月24日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】互いに重なり合う層間での密着性を改善できる圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。【解決手段】振動板2に導電性材料粒子M1とセラミックス粒子M2とを含むエアロゾルZを噴き付けてこれらの粒子を付着させることにより下部電極3を形成する。このように、硬度の大きいセラミックス粒子M2を導電性材料粒子M1に混合して吹き付ければ、このセラミックス粒子M2が衝突の衝撃によって振動板2表面に食い込みつつ付着するため、振動板2と下部電極3との密着性を向上させることができる。さらに、下部電極3には、圧電層4を構成する材料である酸化物セラミックスと同質の酸化物セラミックスを含むこととなるため、下部電極3と圧電層4との密着性も良好となり、熱膨張率の差による剥離が起こりにくくなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性材料粒子とセラミックス粒子を混合して混合物を得る工程と、 前記混合物を含むエアロゾルを基板に噴き付ける工程と、 を含む複合材料膜の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (8件)：

H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (12件)：

2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP27 ,  2C057AP51 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-230304   出願人：株式会社リコー

審査官引用 (2件)

• 誘電体積層部品とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098742   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-188503