特許
J-GLOBAL ID：200903004109583600
被散布物の計数方法及びこれを用いた液晶パネル製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-011411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203558
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は微小な被散布物を散布時に計数する被散布物の計数方法に関し、散布数を高精度に計数し、制御することを目的とする。【構成】 複数の微小粒子21をそれぞれ所定の極性に帯電させてノズル22の噴射口22aより噴射する。続いて、帯電した微小粒子21が噴射することにより生じる電流値を発生する磁界の強さでホール素子23により検出する。そして、検出した該電流値より、所定時間内に散布される微小粒子21の個数を計数する。
請求項（抜粋）：
複数の被散布物(21)を噴出口よりそれぞれ所定の極性に帯電させて噴射する第1の工程と、帯電した該被散布物(21)が噴射することにより生じる電流値を、発生する磁界の強さにより検出する第2の工程と、検出した該電流値より、所定時間内に散布される該被散布物(21)の個数を計数する第3の工程と、を含むことを特徴とする被散布物の計数方法。
IPC (2件)：
G01N 15/02
, G02F 1/1339 500
