特許
J-GLOBAL ID：200903004115294386
電子放出素子、電子源基板、及び画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069002
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245698
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 短時間に低コストで、且つ容易に大面積において電子放出素子を形成することができる表面伝導型電子放出素子ならびにそれを有する電子源基板および画像形成装置を提供する。【解決手段】 一対の素子電極2,3間に、導電膜4を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部5を形成する電子放出素子の製造方法において、付与する液滴が形成するドットパターンの直径よりも配列ピッチが小さい複数ノズルの列を有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズル列を素子電極間のギャップ上にギャップ方向に向けて配置し、一度に複数の材料溶液の液滴を付与する。
請求項（抜粋）：
一対の素子電極間に、導電膜を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法において、付与する液滴が形成するドットパターンの直径よりも配列ピッチが小さい複数ノズルの列を有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズル列を前記素子電極間のギャップ上にギャップ方向に向けて配置し、一度に複数の前記材料溶液の液滴を付与することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 31/12 C
, B41J 3/04 103 B
