特許
J-GLOBAL ID:200903004123912846
鉄素地上の銅めっき剥離液
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
米田 潤三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-201758
公開番号(公開出願番号):特開2003-013262
出願日: 2001年07月03日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 鉄素地上に形成された銅めっきを、鉄素地の腐食を極めて低く抑えて剥離することが可能な剥離液を提供する。【解決手段】 剥離液を、対イオンとして鉄素地に対する腐食性が高い酸の陰イオンを有するような銅(II)アンミン錯体とインヒビターとを含有するアルカリ性水溶液とすることにより、鉄素地上の銅めっきの剥離を可能とし、かつ、酸による鉄素地の腐食をインヒビターによって防止する。
請求項(抜粋):
銅(II)アンミン錯体とインヒビターとを含有するアルカリ性水溶液であり、前記銅(II)アンミン錯体は対イオンとして鉄素地に対する腐食性が高い酸の陰イオンを有することを特徴とする鉄素地上の銅めっき剥離液。
IPC (2件):
C23F 1/34
, C23F 1/00 103
FI (2件):
C23F 1/34
, C23F 1/00 103
Fターム (12件):
4K057WA01
, 4K057WB04
, 4K057WB15
, 4K057WE03
, 4K057WE11
, 4K057WE21
, 4K057WE23
, 4K057WF06
, 4K057WG03
, 4K057WG04
, 4K057WG06
, 4K057WN10
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