特許

J-GLOBAL ID：200903004128608010

表面汚染検査装置

発明者： 田畑 淳一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095737
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308245
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、被検体の表面の凹凸を測定することにより、汚染測定精度及び表面汚染測定効率の低下を防ぎ、装置本体の損傷を防止することを目的とする。【構成】 表面汚染検査装置において、位置検出手段(21a)によりスミヤ採取用部材の移動先における被検体の表面との距離が検出されると、スミヤ圧制御手段(22,23,24)により該検出結果に基づいてスミヤ採取用部材のスミヤ圧を一定にするようにスミヤ採取用部材の位置が制御される。また、表面汚染検査装置において、位置検出手段による検出結果がスミヤ採取用部材の所定の限界移動量を越えると、スミヤ停止手段(22,23,24)によりスミヤ工程が停止されて装置本体が保護される。

請求項（抜粋）：

被検体の表面に対してスミヤ採取用部材を擦りながら移動させ、このスミヤ採取用部材の放射能汚染量から前記被検体の表面汚染を検査する表面汚染検査装置において、前記スミヤ採取用部材の移動先における前記被検体の表面との距離を検出する位置検出手段と、この位置検出手段による検出結果に基づいて、前記スミヤ採取用部材のスミヤ圧を一定にするように前記スミヤ採取用部材の位置を制御するスミヤ圧制御手段とを備えたことを特徴とする放射能汚染検査装置。