特許

J-GLOBAL ID：200903004128845314

気体軸受及びその製造方法

発明者： 藤川 芳夫 ,  平田 淳一
出願人/特許権者： NTN株式会社
代理人 (6件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-304677
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138194
出願日： 2002年10月18日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】簡便な手段により、耐久性および軸受性能が優れた安価な気体軸受およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】軸受スリーブ4,5に設けた軸受面4a,5aと主軸1に設けた外径面1aとを微小な軸受隙間29を介して対向させ、軸受隙間29の気体の圧力によって主軸1を軸受スリーブ4,5に対して非接触で支持する気体軸受において、前記軸受スリーブ4,5の軸受面4a,5aまたは主軸1の外径面1aのうち、少なくとも一方が金属材料からなり、その軸受面4a,5aまたは外径面1aに、固体潤滑剤の微粒子を分散させて打ち込んだ表面層27,28を形成する。この表面層27,28の形成は、固体潤滑剤の微粒子を高速気流により仕上げ加工後の軸受面4a,5aまたは外径面1aに噴射して打ち込むことにより実現される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

固定部に設けた軸受面と可動部に設けた被軸受面とを微小な軸受隙間を介して対向させ、前記軸受隙間の気体の圧力によって可動部を固定部に対して非接触で支持する気体軸受において、前記軸受面または被軸受面を構成する部材のうち、少なくとも一方が金属材料からなり、その軸受面または被軸受面に、固体潤滑剤の微粒子を分散させて打ち込んだ表面層を形成したことを特徴とする気体軸受。

IPC (6件)：

F16C32/06 ,  F16C17/02 ,  F16C27/02 ,  F16C32/00 ,  F16C33/10 ,  F16C33/14

FI (6件)：

F16C32/06 Z ,  F16C17/02 Z ,  F16C27/02 A ,  F16C32/00 C ,  F16C33/10 D ,  F16C33/14 Z

Fターム (29件)：

3J011AA03 ,  3J011AA04 ,  3J011AA06 ,  3J011BA02 ,  3J011JA01 ,  3J011KA02 ,  3J011LA04 ,  3J011MA02 ,  3J012AB03 ,  3J012BB01 ,  3J012CB03 ,  3J012CB05 ,  3J012DB04 ,  3J012DB07 ,  3J012DB12 ,  3J012EB07 ,  3J012FB01 ,  3J012HB01 ,  3J102AA02 ,  3J102AA08 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102CA04 ,  3J102CA11 ,  3J102CA15 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA13 ,  3J102EA25