特許

J-GLOBAL ID：200903004133329162

ウエハ搬送制御方法

発明者： 河野 宏 ,  米田 利男
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-076095
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260548
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ウエハ搬送制御方法で、ハンドがウエハの無いポケットを高速でスキップするとともに、ウエハが無いポケットが連続しているときは各ポケットで減速や停止をすること無くスキップさせ、搬送のタクトタイムを短縮できる。【構成】 ハンドをウエハを搭載できるポケットPnのハンド位置HBnまで前進させて、ウエハ有無を検出し、ウエハ有りを検出したときは、ハンドをウエハに衝撃を与えない遅い速度でウエハを搭載可能ハンド位置HCnまで上昇させて停止させ、ハンドがウエハを搭載していることを確認する。ウエハ無しを検出したときは、ハンドをウエハの無いポケットをスキップさせて高速度で上昇させ、ウエハが有ることを検出すると減速させるスキップウエハ有無検出をし、ハンドを低速度でウエハを搭載するハンド位置まで少し上昇させて停止させ、ハンドがウエハを搭載していることを確認する。

請求項（抜粋）：

ウエハキャリアのポケットに収納されたウエハの有無を検出してロボットのハンドを制御することによってウエハを搬送する制御方法において、前記ハンドを予め定めた位置から前記ポケットのウエハ間でウエハを搭載できる位置まで前進させて、ウエハの有無を検出するウエハ有無検出ステップと、前記ウエハが有ることを検出したときは、前記ハンドをウエハに衝撃を与えない遅い速度でウエハを搭載するウエハ搭載位置まで上昇させて停止させ、前記ハンドがウエハを搭載していることを確認するウエハ搭載確認ステップと、前記ハンドを後退させて、ウエハを目的の位置まで搬送する搬送ステップと、前記ウエハが無いことを検出したときは、前記ハンドをウエハ有無検出を行いながらウエハの無いポケットをスキップさせて高速度で上昇させ、ウエハが有ることを検出すると前記のウエハに衝撃を与えない低速度まで速度を減速させるスキップウエハ有無検出ステップと、前記ハンドを前記の低速度で前記ウエハ搭載位置まで少し上昇させて停止させ、前記ハンドがウエハを搭載していることを確認するスキップウエハ搭載確認ステップと、ウエハを目的の位置に搬送した後に、前記ハンドを前記予め定められた位置に復帰させる復帰ステップとから成り、前記スキップウエハ搭載確認ステップ終了後は搬送ステップと復帰ステップとを実行し、さらに前記ウエハ有無検出ステップから復帰ステップまでも繰り返すウエハ搬送制御方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B65G 1/137 ,  B65G 49/07 ,  G05B 19/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-308928
  
• 特開昭62-045037