特許
J-GLOBAL ID:200903004135896773
ワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-128024
公開番号(公開出願番号):特開平9-309108
出願日: 1996年05月23日
公開日(公表日): 1997年12月02日
要約:
【要約】【課題】 半導体ウェハ、ガラス、セラミックスなどを切断するためのワイヤーソー用のワイヤーであって、断線の原因となる接合部のない、シームレスエンドレスワイヤーを提供する。【解決手段】 接合部のないリング状の材料から、圧延または伸線加工により製造されていることを特徴とするワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤーであり、必要に応じ該ワイヤーの表面に砥粒が固着されている。【効果】 切断加工に際してワイヤーの交換作業回数を減らし、ワイヤーカットの作業効率が向上する。ワイヤーの全長にわたり均一な金属組織および強度を有するので、断線によるトラブルが著しく減少する。従来のワイヤーよりも細径化できるため切断代が低減し、また従来と同等の径であれば張力を大にして切断能率を向上させることができる。
請求項(抜粋):
接合部のないリング状の材料から、圧延または伸線加工により製造されていることを特徴とするワイヤーソー用シームレスエンドレスワイヤー。
IPC (5件):
B28D 5/04
, B24B 27/06
, B26D 1/46 501
, H01L 21/304 311
, C03B 33/14
FI (5件):
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 E
, B26D 1/46 501 A
, H01L 21/304 311 W
, C03B 33/14
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