特許
J-GLOBAL ID:200903004137790662
連続浸珪処理ラインにおける排ガスの排出方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
苫米地 正敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-350440
公開番号(公開出願番号):特開平7-197234
出願日: 1993年12月28日
公開日(公表日): 1995年08月01日
要約:
【要約】【目的】 連続浸珪処理ラインにおいて浸珪処理帯から排ガスを速やかに排出し、且つ浸珪処理帯内の反応ガスが加熱帯等に侵入することを防止すること【構成】 浸珪処理帯をライン方向で2以上の処理帯に分割することで各処理帯間に排気用空間部を設け、この排気用空間部からその前後の処理帯内の排ガスを排出する排ガス排出法であり、1つの単位の処理帯の長さが短くなるため、排ガスが炉内供給ガスと混合する前に各処理帯間の排気用空間部から速やかに排出され、且つ浸珪処理帯全体でのガスの流れが両側の処理帯から中央の排気用空間部方向に向う流れとなるため、加熱帯等への反応ガスの侵入も防止される。
請求項(抜粋):
加熱帯、浸珪処理帯、拡散処理帯および冷却帯を入側から順に備えた連続ラインにて鋼帯を連続的に浸珪処理するに当り、浸珪処理帯をライン方向で2以上の処理帯に分割することで各処理帯間に排気用空間部を設け、該排気用空間部からその前後の処理帯内の排ガスを排出することを特徴とする連続浸珪処理ラインにおける排ガスの排出方法。
IPC (4件):
C23C 10/08
, C23C 16/24
, C23C 16/54
, C22C 33/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
-
特公平4-030458
-
特開平2-263984
-
特表平3-503067
前のページに戻る