特許

J-GLOBAL ID：200903004138399843

アレイ基板の製造方法及びそれを用いた液晶表示装置

発明者： 寺内 正治 ,  井上 真弓 ,  西谷 幹彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-300064
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110628
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】 薄膜トランジスタにおいて、走査配線及び信号配線に用いる材料として、Ag系材料が検討されている。しかしながら、Ag系材料は、O2プラズマに晒されると変質し、下地膜から剥がれやすくなり、高抵抗化するという課題がある。【解決手段】 層間絶縁膜上にフォトレジストでパターンを形成後、層間絶縁膜及びゲート絶縁膜としてのSiNx層をエッチング除去する前に、レジストをマスクとして、SiNx層にイオンを照射して改質を行う。こうすることより、SiNxはふっ酸と弗化アンモニウムの混合液により、エッチング可能となり、Ag系材料は、ふっ酸と弗化アンモニウムをの混合液に耐性があるので、前記のSiNx層のエッチングにウエットエッチングを用いることが可能となる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に、薄膜トランジスタのゲート電極を兼ねている走査配線を、Ag系材料で形成し、その後、薄膜トランジスタのゲート絶縁膜としてSiNx層を形成し、その後、薄膜トランジスタの活性層及びソース・ドレイン電極との接触層として、それぞれ高抵抗アモルファスシリコン膜及び低抵抗アモルファスシリコン膜を形成し、その上に、薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極を兼ねている信号配線を、Ag系材料で形成し、その後、信号配線のパターニングに連続して、薄膜トランジスタのチャネル部直上の低抵抗アモルファスシリコン膜をエッチング除去し、続いて、高抵抗アモルファスシリコン膜を膜厚方向に一部エッチング除去し、その後、層間絶縁膜としてSiNx層を形成し、その後、画素電極として透明電極を形成するアレイ基板の製造方法であって、前記層間絶縁膜を形成後、前記信号配線上の層間絶縁膜を一部除去し、同時に前記走査配線上の層間絶縁膜及び前記ゲート絶縁膜を一部除去し、前記信号配線及び前記走査配線を一部剥き出しにする工程において、前記層間絶縁膜上にフォトレジストでパターンを形成後、前記層間絶縁膜及び前記ゲート絶縁膜としてのSiNx層をエッチング除去する前に、レジストをマスクとして、前記SiNx層にイオンを照射して改質を行う工程及びその後、ふっ酸と弗化アンモニウムの混合液を用いたウエットエッチングプロセスにより、改質したSiNx膜を除去する工程を含むことを特徴とするアレイ基板の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 21/306 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6件)：

G09F 9/30 338 ,  H01L 21/306 D ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/90 A ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 612 D

Fターム (67件)：

2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JB22 ,  2H092JB57 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB25 ,  2H092MA17 ,  2H092NA30 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK14 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ61 ,  5F033QQ64 ,  5F033RR06 ,  5F033SS15 ,  5F033VV15 ,  5F043AA35 ,  5F043BB23 ,  5F043DD02 ,  5F043GG03 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM19 ,  5F110NN04 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05