特許
J-GLOBAL ID：200903004138425925
位置センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-273654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-081902
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：
【要約】【課題】センス感度を高めることができ、センシングする対象に設けられる導体との距離が大きくなった時にも感度の低下を抑制できる位置センサを提供する。【解決手段】センシングする対象に設けられる導体21に対向してコイル22を配置し、上記導体21におけるコイル22との対向面の裏面側に軟磁性膜23を設けたことを特徴としている。センシング対象物を導体21と軟磁性膜23から形成することにより、磁気抵抗が低減され、コイル22に通電した際に発生する磁束がより有効に導体21を鎖交するようになる。これによって、軟磁性膜23を配置する前に比べ導体21に大きな渦電流が発生し、この導体21の影響でコイル22のインダクタンスがより大きく減少する。この位置センサは、導体21がコイル22に接近することでインダクタンスが低くなる現象を用いているため、インダクタンスの変化量を大きくでき、センス感度を向上できる。
請求項（抜粋）：
導体と、この導体に対向して設けられるインダクタと、前記導体における前記インダクタとの対向面の裏面側に設けられる第1の軟磁性膜と、前記インダクタの前記導体との距離に応じたインダクタンスの変化に基づいて、前記導体と前記インダクタとの距離を測定する測定器とを具備することを特徴とする位置センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/00 E
, G01D 5/20 K
2F063AA02
, 2F063CA40
, 2F063DA05
, 2F063GA08
, 2F063LA01
, 2F063LA30
, 2F077CC02
, 2F077FF02
, 2F077FF31
, 2F077FF39
, 2F077TT21
, 2F077TT82
, 2F077VV01
