特許

J-GLOBAL ID：200903004141603036

回転塗布方法

発明者： 塚田 雅一 ,  宮下 英生
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社 ,  大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053574
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253535
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 回転塗布装置による紫外線硬化型塗料の塗布に際し、基板の内周部と外周部との膜厚差を抑制する。【構成】 基板上に活性エネルギー線硬化型塗料を回転塗布する方法において、回転により半径方向に展開する塗料に対して、基板の内側と外側で塗料の粘度が変化するように硬化には至らないエネルギーの活性エネルギー線を照射すること回転塗布方法。【効果】 半径方向の膜厚差が抑制されるため、基板の反りが小さくなる。

請求項（抜粋）：

基板上に活性エネルギー線硬化型塗料を回転塗布する方法において、回転により半径方向に展開する塗料に対して、基板の内側と外側で塗料の粘度が変化するように硬化には至らないエネルギーの活性エネルギー線を照射することを特徴とする回転塗布方法。

IPC (4件)：

B05D 3/06 102 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/24 301 ,  G03F 7/16 502