特許

J-GLOBAL ID：200903004141975286

エッチング液及びエッチング方法

発明者： 池田 一 ,  高橋 知顕 ,  石川 誠 ,  三好 勝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213068
公開番号（公開出願番号）：特開2002-030469
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 硝酸第二セリウムアンモニウム、硝酸及び水を含むエッチング液を用いるエッチングにおいて、不溶性化合物の析出を確実に防止することができ、しかもエッチング速度も良好で量産性に優れたエッチング液及びエッチング方法を提供する。【解決手段】 硝酸濃度8〜15重量%で、硝酸第二セリウムアンモニウム濃度20重量%を超え30重量%以下のエッチング液。このエッチング液を使用するエッチング方法。エッチング中のエッチング液に6価クロムに対する4価セリウムの重量比が17以上となるように硝酸第二セリウムアンモニウムを補給するエッチング方法。

請求項１：

硝酸第二セリウムアンモニウム、硝酸、及び水を含むエッチング液において、硝酸第二セリウムアンモニウム濃度が20重量%を超え30重量%以下であり、かつ硝酸濃度が8〜15重量%であることを特徴とするエッチング液。

IPC (2件)：

C23F 1/26 ,  H01L 21/306

FI (2件)：

C23F 1/26 ,  H01L 21/306 F

Fターム (15件)：

4K057WA10 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WK01 ,  4K057WM06 ,  4K057WN02 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043EE07 ,  5F043EE23 ,  5F043EE29 ,  5F043FF10 ,  5F043GG10