特許
J-GLOBAL ID：200903004144525710

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性永久レジスト、感光性フィルム

発明者：
田中 恵生

田中 恵生 について

, 
名越 俊昌

名越 俊昌 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-115397
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265389
出願日： 2008年04月25日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】 平坦性、はんだ耐熱性、めっき耐性に優れた感光性樹脂組成物、及びドライフィルムタイプのアルカリ現像可能な感光性永久レジスト、感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (a)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマ、(c-1)一般式(I)で表されるアシルフォスフィンオキシド化合物、(d)熱硬化剤を含有し、(c-1)の添加量が前記(a)+(b)に対し、0.1〜10重量%であり、(d)熱硬化剤の添加量が前記(a)+(b)に対し、0.1〜20重量%である感光性樹脂組成物。前記の感光性樹脂組成物に活性光線を画像状に照射し露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去してレジストパターンを形成し硬化してなる感光性永久レジスト。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(b)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマ、(c-1)下記一般式(I)で表されるアシルフォスフィンオキシド化合物、(d)熱硬化剤を含有し、(c-1)の添加量が前記(a)+(b)に対し、0.1〜10重量%であり、(d)熱硬化剤の添加量が前記(a)+(b)に対し、0.1〜20重量%である感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/029 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/28 ,  C08F 290/06 ,  C08F 2/50
FI (9件)：
G03F7/029 ,  G03F7/027 515 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/28 D ,  H05K3/28 F ,  C08F290/06 ,  C08F2/50
Fターム (88件)：
2H025AA04 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC66 ,  2H025BC74 ,  2H025CA02 ,  2H025CA07 ,  2H025CA09 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J011AC04 ,  4J011SA61 ,  4J011SA65 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB031 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB111 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB301 ,  4J127BC021 ,  4J127BC031 ,  4J127BC121 ,  4J127BC131 ,  4J127BC161 ,  4J127BD201 ,  4J127BD401 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE37Z ,  4J127BE371 ,  4J127BF29Y ,  4J127BF291 ,  4J127BF35Z ,  4J127BF351 ,  4J127BF46Z ,  4J127BF461 ,  4J127BF61Z ,  4J127BF611 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG27Z ,  4J127BG271 ,  4J127BG28Z ,  4J127BG281 ,  4J127CB281 ,  4J127CB372 ,  4J127CC031 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127CC131 ,  4J127DA46 ,  4J127DA53 ,  4J127EA03 ,  4J127EA13 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314AA41 ,  5E314CC02 ,  5E314CC07 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314EE02 ,  5E314EE03 ,  5E314FF01 ,  5E314GG26
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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