特許

J-GLOBAL ID：200903004145615314

微小変位量の測定方法及び測定装置

発明者： 須原 浩之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347001
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003126
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】 被検面の面形状,面精度測定に必要な、光軸方向の微小変位量を正確に測定できる方法及び装置を提供することを目的としている。【構成】 同一光源1からの可干渉光を被検面7aと基準になる参照面6aとに照射し、被検体を併進台8で移動しつつ干渉縞像11を作る。干渉縞像の位相差がほぼπ/2離れた観測点P1,P2に第1タイプのセンサSa1, Sa2を設け、他の場所に干渉縞の縞間隔より広い第2タイプのセンサSbを設ける。第1タイプのセンサからの正弦波出力を、方形波、パルス波へと順次変換する。このとき、第2タイプのセンサで干渉縞の平均強度を出し、これをスレッシュレベルとして方形波への変換を行う。平均強度を出すので、干渉縞像のコントラストが低くても正確に測定できる。

請求項（抜粋）：

同一光源からの可干渉光を被検面と基準になる参照面とに照射し、これら両面から反射される参照波と被検波とを重畳して干渉縞を作り、結像させる工程と、被検面を光軸方向に移動して連続的に前記干渉縞像を形成する工程と、前記干渉縞像上で、干渉縞の位相差がほぼnπ/2(nは自然数)離れた2以上の観測点におかれたセンサから、干渉縞の強度信号を取り出す工程と、各観測点における該強度信号をパルス波に変換する工程と、被検面の前記移動に伴い生じる前記パルス波の数をカウントし、各観測点におけるパルス波の発生タイミングのずれと合わせて被検面の光軸上の変位方向と変位量とを算出する工程と、からなることを特徴とする微小変位量の測定方法。