特許
J-GLOBAL ID:200903004149408216

変位センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 稲本 義雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-040247
公開番号(公開出願番号):特開平5-087526
出願日: 1992年01月30日
公開日(公表日): 1993年04月06日
要約:
【要約】【目的】 構成部品点数の削減並びにセンサ組立行程を簡略化する。【構成】 LD20から検出対象物16の表面に対してほぼ垂直に投射された光が検出対象物16の表面で反射され、それがピンホール24を通過した後に、受光面が投射光の光軸と平行となるように配置されたPSD23で受光される。これによって検出対象物16の変位が検出される。
請求項(抜粋):
検出対象物の表面に対してほぼ垂直に検出光を投射させるための発光素子と、前記検出対象物の表面で反射された反射光を通過させるためのピンホールと、受光面が前記検出光の光軸と平行となるように配置され前記ピンホールを通過した前記反射光を受光する光位置検出器とから構成される変位センサ。

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