特許
J-GLOBAL ID：200903004151367071
原子間力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033597
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232081
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 光てこ方式の走査型原子間力顕微鏡(AFM)に電気化学セル(または液体セル)を複合した電気化学AFM(または液中AFM)において、保守性、操作性、AFM測定の安定性、AFM像の信頼性等を向上させる。【構成】 電気化学AFM(または液中AFM)において、カンチレバー支持体10と液槽17を独立して設置し、両者が接しないような構造とする。具体的には、カンチレバー支持体10は、その全体または一部に、レーザー光を透過できる光学的に透明な材料を用い、透明部の下端にカンチレバー11を固定する。一方、液槽17はカンチレバー支持体10の透明部下端およびカンチレバー11を液体に浸すことができる構造とする。
請求項１：
ばね性を有し、自由端先端部に探針を配置したカンチレバー、前記カンチレバー、参照電極、対極および試料を溶液中に配置するための液槽よりなる電気化学セルと、その全体または一部が、レーザー光を透過できる光学的に透明な材料で構成されたカンチレバー支持体と、試料電位を制御・掃引する手段と、試料-対極間に流れる電流を検出する手段と、該電位・電流を測定・記録する手段とにより構成される電気化学測定機構を複合することにより、溶液中に設置された試料表面で起こる電気化学反応を制御・測定しながらその反応過程を実空間観察できるようにした走査型原子間力顕微鏡において、電気化学セルとカンチレバー支持体が独立して設置されることを特徴とする走査型原子間力顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 27/416
, G01B 21/30
, G01N 27/28
, H01J 37/28
