特許
J-GLOBAL ID：200903004154351672
ガス分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221612
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167050
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 改善された収着ポンプを使用するガス分析装置を提供すること。【構成】 本発明のガス分析装置は、質量分析計を含む真空室と該真空室にガス試料を導入するためのサンプリング装置とを含む。該真空室には、これを高真空に維持することができる収着ポンプが接続されている。収着ポンプは拡散バリヤーを含む。このバリヤーによって、滑らかな吸排気特性と、試料が装置に導入された場合の反復性の短期的挙動が得られる。
請求項（抜粋）：
真空室、前記真空室内に取り付けられた質量分析計、前記真空室内にガス試料を導入するためのサンプリング手段、並びに前記真空室に接続され、ゲッター物質及び拡散バリヤーを含む収着ポンプであって、前記拡散バリヤーが、ガス試料が該バリヤーを通過しなければ前記ゲッター物質に到達できないように、前記ゲッター物質と前記真空室の内部との間に配置されている前記収着ポンプを含むガス分析装置。
IPC (2件)：
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