特許

J-GLOBAL ID：200903004161725561

アルミニウムの表面処理方法

発明者： 小池 国彦 ,  井上 吾一 ,  久本 淳 ,  和田 浩司 ,  田中 敏行
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社 ,  株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 鈴江 正二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-252799
公開番号（公開出願番号）：特開2008-007861
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に効率的な酸化皮膜を形成する方法を提供する。【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金の表面にオゾンガスによって酸化皮膜を形成する方法であって、200〜450°Cに保持されているアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に、オゾン濃度が20〜100vol%のオゾン含有ガスを接触させて酸化皮膜を形成する事を特徴とするものであり、CVD装置の場合には、該装置内を減圧して加熱した状態でオゾン含有ガスを供給することによって装置内のアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

アルミニウム又はアルミニウム合金にオゾンガスを作用させて該アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成するアルミニウムの表面処理方法であって、 200〜450°Cに保持されているアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に、オゾン濃度が20〜100vol%のオゾン含有ガスを接触させることにより、前記アルミニウム又はアルミニウム合金の表面に酸化皮膜を形成することを特徴とするアルミニウムの表面処理方法。

IPC (1件)：

C23C 8/12

FI (1件)：

C23C8/12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3018029号公報(特許請求の範囲の記載及び実施例の記載参照)
  
• 特許第3250002号公報(特許請求の範囲の記載及び実施例の記載参照)