特許
J-GLOBAL ID：200903004164460348
シリコン単結晶引き上げ装置用黒鉛製ルツボ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176314
公開番号（公開出願番号）：特開平6-345587
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶引き上げ装置用黒鉛製ルツボにおいて、消耗が少なく長寿命の黒鉛製ルツボを得ることを目的とする。【構成】 上記黒鉛製ルツボを上下分割にし、その内の上部をさらに縦に分割する。また、各分割部分を係合して隙間をなくすことが好ましい。さらに、ルツボ上部と下部の接合面に傾斜を持たせた部分を設けることが好ましい。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶を引き上げる装置に用いる円筒状部分と底部とを有する黒鉛製ルツボであって、該黒鉛製ルツボが、前記円筒状部分の軸心に垂直な平面を切断面として上下に分割され、且つ上側の部分が更に前記円筒の軸心を含む平面を切断面として2個以上の部分に分割されていることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置用黒鉛製ルツボ。
IPC (2件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
