特許
J-GLOBAL ID:200903004171031290
表面汚染検査装置、該検査装置のスミヤパッド及び該スミヤパッドのスミヤろ紙自動交換装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山口 巖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-144118
公開番号(公開出願番号):特開平7-005264
出願日: 1993年06月16日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】スミヤ(拭き取り)方式の放射能による表面汚染検査装置においてろ紙が装着されていないスミヤパッドによるスミヤ工程への移行を防止する。【構成】スミヤろ紙自動交換装置2のスミヤパッド挿入口近傍で、挿入口から引き出されたスミヤパッド1のパッドヘッド部位を見込む位置に反射式光電センサ3を設けるか、あるいは、スミヤパッド1のパッド胴13のろ紙を見込む部位に反射式光電センサ3を埋め込んでおき、ろ紙4の交換工程が終了したとき、前記反射式光電センサの出力を正規にろ紙が装着された場合の出力値と比較することによってろ紙4の有無を判定する。
請求項(抜粋):
スミヤパッドを有するスミヤ方式の表面汚染検査装置であって、反射式光電センサと、この反射式光電センサの出力によって前記スミヤパッド上のろ紙の有無の判定を実行する手段と、を備えたことを特徴とする表面汚染検査装置。
引用特許:
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