特許
J-GLOBAL ID：200903004174399930
乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243188
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097147
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 乾燥工程において、被乾燥部材への異物の付着を低減させる。また、同時に大量の被乾燥部材を乾燥できるようにし、そして、より短時間に乾燥できるようにする。さらに、被乾燥部材の洗浄及び乾燥の各工程を一貫化させる。【構成】 空気1を清浄化するフィルタ2と、清浄化された空気1を加温するヒータ6とを設け、この清浄、加温された空気1の対流によってウエハ(被乾燥部材)3を乾燥させる。一方、ウエハ(被乾燥部材)3はカートリッジ(収納手段)5に収納され、洗浄装置と連続された搬送手段4によって搬送される。
請求項（抜粋）：
空気を清浄化するフィルタを設けてなり、前記フィルタにより清浄化された前記空気の対流によって被乾燥部材が乾燥されることを特徴とする乾燥装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, F26B 21/00
