研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿仁屋節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-093931
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288921
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】研磨用キャリアの保持孔の内周面と被研磨体の外周側面との摺動に起因する傷が被研磨体の外周側面に生ずることを防止可能とする研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法を提供する。【解決手段】被研磨体たる磁気記録媒体用ガラス基板4を保持する保持孔2aを有する被研磨体保持部2と、この被研磨体保持部2の外周に設けられたギア部3とを有する研磨用キャリア1において、前記保持孔2aの内周面21に、前記被研磨体4の外周側面41に接触して該被研磨体4を支持する複数個の突起2bを設け、これら突起2bの間隔を前記保持孔2aの内周面における突起2bの周方向の幅よりも大きく設定した。

請求項（抜粋）：

被研磨体を保持する保持孔を有する被研磨体保持部と、この被研磨体保持部の外周に設けられたギア部とを有する研磨用キャリアにおいて、前記保持孔の内周面に、前記被研磨体の外周側面に接触して該被研磨体を支持する複数個以上の突起を設け、これら突起の間隔を前記保持孔の内周面における周方向の突起の幅よりも大きく設定したことを特徴とする研磨用キャリア。

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B24B 7/24 , G11B 5/84 , G11B 7/26

FI (4件)：

B24B 37/04 C , B24B 7/24 A , G11B 5/84 A , G11B 7/26

Fターム (24件)：

3C043BB06 , 3C043CC07 , 3C043CC11 , 3C043DD05 , 3C058AA07 , 3C058AB01 , 3C058AB04 , 3C058AB08 , 3C058CA04 , 3C058CA06 , 3C058CB02 , 3C058DA06 , 3C058DA09 , 3C058DA17 , 5D112AA24 , 5D112BA02 , 5D112BA03 , 5D112GA02 , 5D112GA09 , 5D112KK06 , 5D121AA02 , 5D121GG22 , 5D121GG28 , 5D121JJ03

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-138933
特開平3-138933

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