特許
J-GLOBAL ID：200903004194519061
光学薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-353492
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179961
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 光学的特性が良好で生産性が高い光学薄膜を実現する。【構成】 石英製の基板1には、基板1側から順次、3層構造の、TiO2 からなる第1膜材の多層膜10とSiO2 からなる第2膜材の多層膜11が交互に成膜されている。第1膜材の多層膜10のうち、異種材料間の界面部分の層である第1膜2と、第3膜4とはイオンビームアシスト法によって成膜されたものであり、中間の第2膜3は、低電圧大電流イオンプレーティング法で成膜されたものである。また、第2膜材の多層膜11のうち、異種材料間の界面部分の層としての第4膜5と第6膜7とはイオンビームアシスト法によって成膜され、中間の第5膜6は低電圧大電流イオンプレーティング法で成膜されたものである。
請求項（抜粋）：
基板上に、異種材料からなる複数の多層膜群が積層された多層の光学薄膜であって、各多層膜群は、それぞれ単一の材料からなるとともに、異種材料間の界面部分である層が低イオンエネルギーのイオンを利用した蒸着で成膜された膜であり、前記異種材料間の界面部分である層以外の層が高イオンエネルギーのイオンを利用した蒸着で成膜された膜であることを特徴とする光学薄膜。
IPC (3件)：
C23C 14/08
, C23C 14/32
, G02B 1/10
