特許

J-GLOBAL ID：200903004201433941

検査装置のパラメータ設定方法

発明者： 秋山 周次 ,  阿部 政弘
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-157141
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344309
出願日： 2002年05月30日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】検査に最適なパラメータを容易に設定すること。【解決手段】過検出抑制モード又は未検出欠陥の検出モードのいずれかを指定し、このうち過検出抑制モードが指定されると、欠陥候補部のうち検出しなくてもよい疑似欠陥部の特徴量に対応するパラメータを決定してそのパラメータによって検出される疑似欠陥部を除いた欠陥候補部を抽出し、一方、未検出欠陥の検出モードが指定されると、欠陥候補部のうち検出したい本欠陥部の特徴量に対応するパラメータを決定してそのパラメータによって検出される全ての本欠陥部を抽出する。

請求項（抜粋）：

検査装置により検出される検査対象の欠陥候補部の特徴量に応じて当該欠陥候補部を検出するためのパラメータを設定する検査装置のパラメータ設定方法において、前記検査装置により検出される前記欠陥候補部のうち検出しなくてもよい疑似欠陥部の特徴量に対応する前記パラメータの設定を行なうためのモードに指定する第1のステップと、このモードに指定されたとき、前記検査対象が表示されている表示画面上において前記疑似欠陥部を選択指示すると、この疑似欠陥部の特徴量に対応する前記パラメータを決定する第2のステップと、この決定された前記パラメータによって検出される前記疑似欠陥部を除いた前記欠陥候補部を抽出する第3のステップと、を有することを特徴とする検査装置のパラメータ設定方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 21/956 B ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 Z

Fターム (48件)：

2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC28 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DG01 ,  4M106DG05 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ26