特許
J-GLOBAL ID：200903004202045406
投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-112395
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291113
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 円輪または円輪状の2次光源を用いる投影露光装置において、原図基板露光領域の照明均一性を向上させることを目的とする。【構成】 要素レンズ1をその中心が円2上に配置されるように隙間無く密接させて並べ、その他は光りが通らないようにして、2次光源となる円輪状のオプティカルインテグレータを構成する。
請求項（抜粋）：
要素レンズの集合体または、一体化した要素レンズ群をオプティカルインテグレータとして用い、前記オプティカルインテグレータの射出光を2次光源として、投影露光光学系を通して、原図基板上のパターンを被露光基板上に転写する投影露光装置において、前記要素レンズをその中心がおおよそ1つの円、または、円弧の上に並ぶように配置したオプティカルインテグレータを有することを特徴とする投影露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 26/02
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 S
, H01L 21/30 311 L
