表面上に光学的性質を有する耐摩耗層系を施与する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-552319
公開番号（公開出願番号）：特表2002-517611
出願日： 1999年05月04日
公開日（公表日）： 2002年06月18日
要約：

【要約】PECVD法により析出される耐摩耗性マトリックスからなり、PVDプロセスにより封入されるパケットまたは中間層の形の光学的機能を示す封入物を有する、光学的性質を有する耐摩耗性層を施与する方法が提案されている。この場合、封入の化学は、PECVD析出のプロセスガスの封入および/またはマトリックス層によって影響を及ぼされる。殊に、PECVDプロセスとしてのプラズマ重合および封入物を析出するためのスパッタリングは、有利であることが判明した。1つの好ましい実施態様において、プラスチックのUV保護層中での光学的機能は、光のUV含分の散乱、吸収または反射によって存在する。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの異なる析出工程を用いて表面上に光学的性質を有する少なくとも1つの耐摩耗性層を施与する方法において、1つの工程が耐摩耗性マトリックスを析出するためのプラズマCVDプロセスを含み、別の工程がマトリックス中へ光学的機能性材料を封入するためのPVD技術による物質析出を含むことを特徴とする、表面上に光学的性質を有する少なくとも1つの耐摩耗性層を施与する方法。

IPC (2件)：

C23C 16/30 , C23C 14/06

FI (2件)：

C23C 16/30 , C23C 14/06 M

Fターム (32件)：

4K029BA41 , 4K029BA42 , 4K029BA43 , 4K029BA44 , 4K029BA45 , 4K029BA46 , 4K029BA51 , 4K029BA52 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BA64 , 4K029BC02 , 4K029BC07 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029CA12 , 4K029DC16 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA21 , 4K030BA29 , 4K030BA42 , 4K030BA46 , 4K030BA50 , 4K030BA61 , 4K030BB12 , 4K030CA07 , 4K030EA06 , 4K030FA01 , 4K030HA02 , 4K030KA41 , 4K030LA01

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