硬脆材料用精密研磨組成物及びそれを用いた硬脆材料の精密研磨方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046039
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239652
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】硬脆材料の精密研磨加工に用いられて、硬脆材料の表面を高精度に研磨せしめることが出来ると共に、優れた研磨効率(研磨速度)と研磨寿命とを実現し得る硬脆材料用精密研磨組成物を提供すること。【解決手段】研磨特性を発現する固形成分として、0.3μm以下の平均粒子径(D50)を有し、且つBET比表面積が15〜50m2 /gのα-アルミナの微粒子を用い、それを水性媒体中に分散せしめることによって、硬脆材料用精密研磨組成物を構成した。

請求項（抜粋）：

α-アルミナを水性媒体中に分散せしめてなる精密研磨組成物であって、かかるα-アルミナが、0.3μm以下の平均粒子径(D50)を有し、且つBET比表面積が15〜50m2 /gの微粒子からなることを特徴とする硬脆材料用精密研磨組成物。

IPC (5件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , C01F 7/44 , C30B 29/30 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 Z , C01F 7/44 , C30B 29/30 A , C30B 29/30 B , H01L 21/304 622 D

Fターム (14件)：

4G076AA02 , 4G076AA24 , 4G076AC04 , 4G076BC08 , 4G076BD01 , 4G076CA02 , 4G076CA15 , 4G076CA26 , 4G076CA28 , 4G076DA30 , 4G076FA02 , 4G077AA03 , 4G077BC37 , 4G077FG12

引用特許：

審査官引用 (12件)

アルミナ質研磨微粉の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-297999 出願人：昭和電工株式会社
特開平3-054287
特開平3-277683

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