試料測定用プローブ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：最上健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176210
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021846
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】液体中に設けられた試料に対しても、試料に歪みを与えることなくノンコンタクトモード測定を可能にした試料測定用プローブ装置を提供する。【構成】支持部3に支持され、自由端に探針2を備えた弾性体1を、試料5を保持した溶液4中に配置し、駆動源6により弾性体1の固有振動数で強制励振し、振動するように構成する。そして、探針先端が試料5の表面に接近することによる弾性体1の振動状態の変動を変位検出器7で検出し、該変位検出器7の検出出力を試料データ表示装置8に入力して、試料5のトポグラフィー像を得るようにする。

請求項（抜粋）：

液体中に試料を保持する手段と、探針を自由端に備えた弾性体と、該弾性体を微振動させるための駆動源と、前記探針の先端が前記試料の近傍に接近したときの振動の変化を検出する検出装置とを有する試料測定用プローブ装置において、前記弾性体は、液体中において該弾性体の固有振動数で強制励振できるような軟らかさをもち、前記駆動源は前記弾性体を前記液体中において該弾性体の固有振動数の近傍で強制励振するように構成したことを特徴とする試料測定用プローブ装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-087009
特開平4-162341
原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-033597 出願人：セイコー電子工業株式会社

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