特許

J-GLOBAL ID：200903004218903275

酸化物超電導膜の製造方法

発明者： 新宅 英隆 ,  野島 秀雄 ,  木場 正義 ,  長田 昌也
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252509
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070104
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 電気泳動法により、安価な銅電極上に、大面積で、かつ複雑な形状の超電導膜を作製する。【構成】 アセトン液にY-Ba-Cu-O系の酸化物超電導微粉末を分散させた溶液中に銅の基板を浸漬して電界を印加し、銅の基板上に電気泳動で堆積した膜を、先ず、真空または不活性ガス雰囲気中で高温にした焼結を行い、次に、500°C以下の酸素または空気の雰囲気による酸素組成比制御の熱処理をする。従来Y-Ba-Cu-O膜とCu基板の介面に形成して問題になったCuO層の発生を防ぎ、特性の良い超電導膜の作製を可能にした。

請求項（抜粋）：

有機溶媒に酸化物超電導微粉末を分散させた溶液中に、銅の電極を形成した基板を浸漬して、該電極上に電気泳動法により形成した前記酸化物超電導微粉末の堆積膜の焼結を、真空または不活性ガス雰囲気で行い、続いて、酸素または空気等の酸素を含む雰囲気中で、酸素組成比制御の熱処理を行うことを特徴とする酸化物超電導膜の製造方法。

IPC (6件)：

C01B 13/14 ZAA ,  B22F 1/00 ,  C01G 1/00 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01L 39/24 ZAA ,  C25D 1/14 ZAA