特許
J-GLOBAL ID：200903004219787104
ダイヤモンドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-076438
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279183
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【構成】反応容器1の上部に設置した低圧水銀ランプ2の光でガス導入口3から導入した反応ガスを光分解し、ヒーター5上に設置したSi基板上6上にダイヤモンド膜を成膜する。排気口4は排気するためのものである。成膜は次の順序で行う。まず、ヒーター上にSi基板を設置し、ヒーターで基板温度を500°Cに保持した後、低圧水銀ランプを点灯する。続いてガス導入口からテトラクロロエチレンと水素の混合ガスを導入し、反応容器内のガス圧を所定の圧力にし、基板上にダイヤモンド膜を生成する。【効果】格子欠陥の少ない高品質ダイヤモンド膜を高い成膜速度で製造することが可能になる。
請求項（抜粋）：
少なくともテトラクロロエチレンもしくはトリクロロエチレンのいずれかを0.5%以上含む有機化合物あるいは希ガスとの混合ガスより成る反応ガスに紫外線を照射し、光分解させて、ダイヤモンドを合成することを特徴とするダイヤモンドの製造方法。
IPC (2件)：
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