オートフォーカス及びマスク・ウェーハ間ギャップ測定方法並びに装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013282
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】オートフォーカス及びマスク・ウェーハ間ギャップ測定を、マスク・ウェーハ間位置合わせ装置用顕微鏡を用いた単一の装置で行う。【構成】顕微鏡筒3内で光ビームを対物レンズ4側に進行させ、該光ビームを対物レンズ4に通してマスク1Aに斜め入射させ、マスク1Aで反射された光ビーム及びマスク1Aを透過しマスク・ウェーハ間で反射しマスク1Aを透過した光ビームが、対物レンズ4を通りイメージセンサ2上に投射されて形成された光スポットQ1、Q2の位置を検出し、顕微鏡筒3を光軸方向へ移動させて光スポットQ1又はQ2を予め定めた位置へ移動させることにより、該試料をイメージセンサ2上に結像させ、光スポットQ1、Q2の相互間隔dに基づいてマスク・ウェーハ間ギャップgを測定する。

請求項（抜粋）：

互いに接近したマスク(1A)とウェーハ(1B)とを相対的に位置合わせするために、該マスク又は該ウェーハを試料とし顕微鏡で得られた像をイメージセンサ(2)上に結像させ、かつ、マスク・ウェーハ間ギャップ(g)を測定するオートフォーカス及びマスク・ウェーハ間ギャップ測定方法において、顕微鏡筒(3)内で光ビームを対物レンズ(4)側に進行させ、該光ビームを該対物レンズに通して該マスクに斜め入射させ、該マスクで反射された光ビーム及び該マスクを透過し該マスク・ウェーハ間で反射し該マスクを透過した光ビームが、該対物レンズを通り該イメージセンサ上に投射されて形成された光スポット(Q1、Q2)の位置を検出し、該顕微鏡筒を光軸方向へ移動させて該光スポットを予め定めた位置へ移動させることにより、該試料を該イメージセンサ上に結像させ、該光スポットの相互間隔(d)に基づいて該マスク・ウェーハ間ギャップを測定することを特徴とするオートフォーカス及びマスク・ウェーハ間ギャップ測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 7/28 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 J , G02B 7/11 M

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