特許
J-GLOBAL ID：200903004225013730
マグネトロンスパツタカソード
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-044300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025625
出願日： 1991年02月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ターゲットを均等にスパッタすることによって、ターゲットの寿命を長くして、その使用効率を向上する。【構成】ターゲットを上面に取り付けたバッキングプレートの背部に磁石装置を配設したマグネトロンスパッタカソードにおいて、磁石装置の中央部磁石6と周縁部磁石7との間に少なくとも1個以上の中間部磁石15a,15bを配置し、その中間部磁石15a,15bの先端部の磁極を中央部磁石6および周縁部磁石7の先端部の磁極より下方に位置させると共に、隣接する磁石の先端部の磁極の極性を相異ならせた。
請求項（抜粋）：
ターゲットを上面に取り付けたバッキングプレートの背後に配設した磁石装置によりターゲットの表面近傍の空間に湾曲した磁力線を形成して高密度のプラズマを発生し、ターゲットをスパッタするマグネトロンスパッタカソードにおて、上記磁石装置は、底部ヨークと、この底部ヨークの中央部より立設された希土類系強磁石よりなる中央部磁石と、この廻りをこれと間隔をもってリング状に囲むように底部ヨークの周縁部より立設された希土類系強磁石よりなる周縁部磁石と、中央部磁石と周縁部磁石との間で先端部の磁極がほぼ同一高さで2個以上存在するように配置された少なくとも1個以上の希土類系強磁石よりなる中間部磁石とで構成され、中間部磁石の先端部の磁極は中央部磁石と周縁部磁石との先端部の磁極より下方に位置すると共に、中央部磁石、中間部磁石および周縁部磁石の各先端部の磁極の極性が隣接する磁石の先端部の磁極の極性と相異なっていることを特徴とするマグネトロンスパッタカソード。
引用特許：
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